極紫外電漿源模組

財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心「極紫外電漿源模組」公開招標：公告日 2024/06/11，案號 TIRI-P-113035。

公告類型

公開招標

採購機關

財團法人國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心

標案案號

TIRI-P-113035

標的分類

財物類

公告日期

2024/06/11